株式会社
太陽イービーテック
親会社
真空チャンバー 製造実績
大小さまざまな真空チャンバーの製造実績があります。
多くの機械加工部品は自社製作です。
ベローズのような薄肉物を溶接できる高度な溶接技術を、保有しています。
製作後はヘリウムリークデテクターによる漏れ検査を行い、確実に品質管理された製品をご提供いたします。
マークは、ワン・ストップ・ソリューションで作られた製造事例です。
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1.ステンレス製水冷管付き真空チャンバー
高さ約500mm、多数の枝管が出た角型の真空チャンバーです。
二次加工により高精度を実現しています。
2.超高真空用真空チャンバー 角型
概寸 1,500mm X 400mm X 400mm
大型の角型真空チャンバーを、社内で製造しました。
3.無酸素銅製 真空チャンバー
電子ビーム溶接により組立
長さ約700mmの大小の角型パイプを、電子ビーム溶接して組立ました。
4.加速器用ステンレス製 大型真空チャンバー
概寸 ⌀1,000×2,500mm
多数の枝管が付いた大型真空チャンバーを、溶接歪みを考慮した設計をして、製造しました。
5.加速器用部品 冷却水路付き
クロム銅＋銅＋ステンレス製
電子ビーム溶接および真空ロウ付けで、異種金属を組立ました。長さ約300mm。
6.シンクロトロン放射光施設向け真空チャンバー
レーストラック形状の真空ダクトおよびベローズ等で構成された超高真空用の真空チャンバー。長さ約2,000mm。
7.ベローズダクト1
レーストラック形状のフランジとベローズダクトを電子ビーム溶接およびTIG溶接で組立て。⌀152×長さ約300mm
8.ベローズダクト2
内部にRFコンタクト付属の特殊なベローズダクトです。高度な組立技術が要求されます。⌀104。
9.銅製真空ダクト
長さ約1,200mm、電子ビーム溶接およびTIG溶接で組立て。無酸素銅とステンレスの異種金属を溶接しました。
11.銅製導波管
長さ約350mm、無酸素銅の角パイプを電子ビーム溶接しました。
13.電磁石ダクト
長さ約2,000mm、内面に銅メッキされたステンレス製真空チャンバー。
長尺で湾曲した特殊な形状を、精密に加工・溶接しました。
14.真空直線導入機
高さ約300mm、真空中に簡易的に直線導入する機械を、社内で設計・製造しました。
15.ステンレス製角型水冷ジャケット
約600mmX800mm、冷却水路を電子ビーム溶接で組立ました。
16.銅製角型水冷ジャケット
長さ約500mm、銅と本体とフタを溶け込み深さ8mmで、電子ビーム溶接しました。
17.銅・SUS変換部品
電子ビームで精密溶接、⌀40mm。一次加工、二次加工を考慮した設計をしました。
18.アブソーバ付き真空チャンバー
長さ約1,200mm、ステンレスと銅の大型アブソーバ。真空ロウ付けと電子ビーム溶接で組立て。